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本所代理之【檢測矽晶圓***】專利申復案，成功克服官方意見，獲准發明專利

本所代理之【檢測矽晶圓缺陷的自動光學檢測機構及方法】專利申復案，成功克服官方意見，獲准為第【I691715】號發明專利。