亞律國際專利商標聯合事務所

本所代理之【利用電漿蝕刻去除晶圓缺陷的重工處理設備】專利申請案，成功克服官方意見

本所代理之【利用電漿蝕刻去除晶圓缺陷的重工處理設備】專利申請案，成功克服官方意見，獲准為第【I779395】號發明專利。